u 為什么檢漏儀要用外置標(biāo)準(zhǔn)漏孔標(biāo)定

 ?  輸入錯誤的內(nèi)置漏孔漏率值，檢漏儀自檢時一般也能通過；說明檢漏儀是對比性測試設(shè)備，檢漏儀本身并不知道檢漏信號對應(yīng)的漏率是多少，必須要有參照物-標(biāo)注漏孔來確定。

?  任何氦質(zhì)譜檢漏儀準(zhǔn)不準(zhǔn)，檢測標(biāo)準(zhǔn)是對標(biāo)準(zhǔn)漏孔讀值準(zhǔn)不準(zhǔn)，無其他標(biāo)準(zhǔn)。

?  任何檢漏儀不承諾保證E~2到E-12的全量程一致性和精確性。檢漏儀內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔一般為E-7mbar.L/sec，自檢通過，如內(nèi)置漏孔為5.0E-7mbar.L/sec,并不能保證E-6或E-8或其他量級測量的準(zhǔn)確性。

?  甚至E-7內(nèi)置漏孔準(zhǔn)確，并不能保證該檢漏儀測量E-7量級就是準(zhǔn)確的，因為內(nèi)置漏孔連接檢漏儀閥體的接口與檢漏儀的撿漏口不是同一接口。一個1.5E-7的內(nèi)置漏孔，如連接檢漏儀閥體的接口存在5E-7的泄漏，自檢時輸入的漏率因為7.5E-7，但檢漏儀仍然認(rèn)為是1.5E-7；這就導(dǎo)致檢漏儀自檢通過但整個線性出現(xiàn)偏差和混亂。

?  事實上，經(jīng)常出現(xiàn)檢漏儀自檢通過其他量程誤差很大，甚至幾個量級的都有。我們甚至發(fā)現(xiàn)有檢漏儀，某幾個量級準(zhǔn)確了，另幾個量級不準(zhǔn)的情況，反之亦然。有興趣的可以觀看我們的視頻。

?  正確的方法是針對產(chǎn)品的漏率要求，用接近的外置校準(zhǔn)漏孔標(biāo)定檢漏儀。

u 參考視頻1：一臺INFICON Modul 1000氦質(zhì)譜檢漏儀，E-7,E-8,E-9三個量程都非常精確，但E-6,E-5都相差30~40倍，線性嚴(yán)重失準(zhǔn)（事實上任何品牌的檢漏儀并不承諾保證全量程的線性一致性）。如果測量E-5,E-6的工件，必須用外置標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行標(biāo)定修正，這是確保檢漏儀測量精確的唯一方法！

u 參考視頻2：一臺Adixen檢漏儀，通過自檢后在某些量級誤差100倍。自檢通過，最多只能說明檢漏儀正確測量與內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率接近的漏率。實際上這個也不一定能保證......某種程度內(nèi)置自檢方便了用戶使用，但很大程度帶來了不準(zhǔn)確性。真正的測量精確需要外置漏孔進(jìn)行校準(zhǔn)和修正。