上海睿米儀器儀表有限公司
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氦氣加壓真空腔體和加壓控制站
-----氦質(zhì)譜檢漏儀專用
氦氣加壓真空腔體，主要用于加壓、保壓、抽真空等作用。常用于小型的密封產(chǎn)品檢漏測試，例如電子類產(chǎn)品，芯片、小型壓力計、溫度計等。由于產(chǎn)品小，不能使用常見的充氦或噴氦方法進行測試，而是用背壓法檢漏（）。需要將待測產(chǎn)品，放置到密封的、可加壓的真空腔體內(nèi)，設(shè)置一定壓力（例如，3bar）；保壓一段時間（例如，2小時）；然后用氮氣或空氣，將待測樣品表面的氦氣吹凈；再降待測樣品放在真空腔體內(nèi)，用氦質(zhì)譜檢漏儀測試。
氦氣加壓系統(tǒng)就是要在氦檢漏前，先對小型電子密封類樣品進行氦氣加壓，然后再用氦質(zhì)譜檢漏儀進行檢漏測試。雷科公司提供手動或全自動的兩種氦氣加壓系統(tǒng)。自動加壓系統(tǒng)符合微電子密封的測試標(biāo)準(zhǔn)MIL-STD-883。
