上海睿米儀器儀表有限公司
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本視頻對一臺維修改造好的ASM 340，用5個漏率量級的標準漏孔：E-10,-9,-8,-7,-6 mbar.L/sec，檢測檢漏儀各個量程檢測的精確性以及線性一致性。
標準漏孔是檢漏儀的唯一標準尺。
檢漏儀維修得好不好，檢測準不準，線性一致性是否良好，唯一判定標準是用各個量程的標準漏孔對檢漏儀進行標定，看是否與標定值接近。
標定的結果：E-10量程誤差較大。E-6~E-9 4個量程測量精確或接近，體現(xiàn)較好的精確性和線性一致性。
客戶工件的合格漏率為E-8，E-9，檢漏儀完全滿足客戶需求和睿米出廠標準。
標準漏孔檢測結果匯總(mbar.L/sec) | ||||
S/N | 標定值 | 修正值 | 讀數(shù) | 結論 |
#1 | 2.86E-10 | ~2.4E-9 | 7.0E-11 | 有較大差距 |
#2 | 5.17E-9 |
| 4.6E-9 | 精確 |
#3 | 3.00E-8 |
| 2.8E-8 | 精確 |
#4 | 1.29E-7 |
| 1.3E-7 | 精確 |
#5 | 1.29E-6 |
| 1.5E-6 | 精確 |
