上海睿米儀器儀表有限公司
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A200便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀
（ 靈敏度高、操作便捷、低維護）
A200便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀廣泛應用于科研院所、航空航天、動力鋰電池，閥門、精密儀表、機械加工、電力、電廠、光伏、真空鍍膜、真空熱處理等。
A200支持正壓檢漏，負壓檢漏，自動跟蹤本底，提供快速可靠的測量結果，優(yōu)化設計的質(zhì)譜系統(tǒng)和智能算法確保在所有量程快速響應，高可靠性的真空系統(tǒng)和質(zhì)譜系統(tǒng)確?？焖偾搴ぃС值獨馄瓶?，不受環(huán)境氦氣干擾，快速降低本底，機器卓越的性能支持7*24小時長時間在線測試，機器卓越的性能支持幾秒一次的高頻率測試，配有檢漏口精細過濾器，過濾細微雜質(zhì)，確保機器不受雜質(zhì)影響和損傷，雙銥絲離子源，有效的系統(tǒng)設計，防大氣沖擊，支持定制檢漏工作臺，更加便捷使用。
圖1：A200便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀
一、技術規(guī)格
項目 | 描述 | |
可檢測氣體 | 4He | |
最小可檢測漏率 | 真空法 | <5x10-13pa.m3/s（5x10-12mbar.L/s） |
吸槍法 | <1x10-8pa.m3/s（1x10-7mbar.L/s） | |
檢測模式 | Gross(粗檢), Fine(精檢), Ultra(超精檢) | |
檢測方法 | 真空(Vacuum)，吸槍(Sniff) | |
入口法蘭 | KF25 | |
最大入口壓力 | 粗檢：15mbar 精檢：2mbar 超精檢：0.4mbar | |
分子泵抽速 | 2.5l/s (SplitFlow 80) | |
前級泵抽速 | 1.8m3/h旋片泵，內(nèi)置 | |
響應時間 | 真空（63% signal）：1s 吸槍（3m）：<1s | |
自檢 | 支持，內(nèi)置漏孔,帶證書 | |
工作溫度 | 10℃ ~ 40℃ | |
工作電壓 | 115/230 VAC, 50/60 Hz | |
重量 | 45kg | |
功耗 | 400W | |
尺寸(mm） | 長523 x寬510 x高297 | |
二、應用領域(Application Scenarios)
◆科學研究： Electron microscopy – 電子顯微鏡 Mass spectrometry – 質(zhì)譜 Surface analysis – 表面分析 Plasma monitoring – 等離子體監(jiān)測 Residual gas analysis – 殘余氣體分析 ... ◆半導體 Lithography鋰電池 PVD /CVD Plasma etching等離子刻蝕 MBE 分子束外延 … ◆鍍膜 Hard disk coating – 硬盤鍍膜 Photovoltaics – 光伏 Glass coating (PVD) – 玻璃鍍膜 Optical coating (PVD) – 光學鍍膜 Wear protection (PVD, CVD) –硬質(zhì)涂層 Web coating – 卷繞鍍膜 … | ◆工業(yè) Medical technology – 醫(yī)學技術 Industrial leak detection – 工業(yè)檢漏 Electron beam welding – 電子束焊接 Lamp /tube manufacturing – 燈管制造 Automobile –汽車制造 Aerospace-航天航空 … ◆科學研究 Nuclear research – 核研究 Fusion technology – 聚變技術 Plasma research – 等離子研究 Nanotechnology – 納米技術 Biotechnology – 生物技術 … |
