上海睿米儀器儀表有限公司
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LACO TitanTest? T100M(30m3 /h Dry)
移動(dòng)式大抽速高性能氦質(zhì)譜檢漏儀（訂貨號(hào)：TITAN100M-30D）
LACO Titan T100(30m3/h Dry) 移動(dòng)無油干式氦氣檢漏儀，配置30m3/h 干式渦旋泵，適合潔凈生產(chǎn)環(huán)境之嚴(yán)苛需求以及中到大工件的檢測(cè)，且一般不需要外置輔助真空泵?？梢詮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、醫(yī)療、科研、實(shí)驗(yàn)等需求。
圖1：LACO Titan T100M(30m3/h) 大抽速移動(dòng)式氦質(zhì)譜檢漏儀
一、技術(shù)規(guī)格
| 項(xiàng)目 | 描述 | |
| 可檢測(cè)氣體 | 4He, 3He, H2 | |
| 最小可檢測(cè)漏率 | 真空法 | 4He： <5x10-13pa.m3/s（5x10-12mbar.L/s） |
| 3He： <5x10-11pa.m3/s（5x10-10mbar.L/s） | ||
| H2： <5x10-9pa.m3/s（5x10-8mbar.L/s） | ||
| 吸槍法 | 4He, 3He, H2: <x10-9pa.m3/s（5x10-8mbar.L/s） | |
| 獨(dú)立吸槍接口（不占用真空口） | ||
| 檢測(cè)模式 | Gross(粗檢), Fine(精檢), Ultra(超精檢) | |
| 檢測(cè)方法 | 真空(Vacuum)，吸槍(Sniff)，自動(dòng)檢測(cè)(Auto) | |
| 入口法蘭 | KF25 | |
| 最大入口壓力 | 25mbar | |
| 分子泵抽速 | 2.5l/s (SplitFlow 80) | |
| 前級(jí)泵抽速 | 30m3/h渦旋泵 | |
| 響應(yīng)時(shí)間 | 真空（63% signal）：0.3s | |
| 吸槍（3m）：<1s | ||
| 自檢 | 內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔（NIST可跟蹤證書），溫度系數(shù)0.1%/℃，可忽略溫度修正 | |
| 支持Gross, Fine, Ultra三種模式校準(zhǔn)，確保測(cè)試精度 | ||
| 啟動(dòng)時(shí)間 | ≤3min | |
| 采樣頻率 | 20Hz | |
| 接口 | RS232 or RS485, Analog Output, Discrete I/O | |
| 工作溫度 | 10℃ ~ 35℃ | |
| 工作電壓 | 115/230 VAC, 50/60 Hz | |
| 重量 | 110kg | |
| 功耗 | 1000W | |
| 尺寸(mm） | 長(zhǎng)726 x437 x1010推車+主機(jī) | |
二、特點(diǎn)(Key Features)
1）業(yè)界先進(jìn)的全量程測(cè)量的精確性與一致性(演示視頻)。
T100提供先進(jìn)的全量程測(cè)量的精確性與一致性。
性能演示視頻1(真空法，Vacuum)；LACO Titan T100業(yè)界先進(jìn)的全量程測(cè)量的精確性與一致性
(8個(gè)標(biāo)準(zhǔn)漏孔,,E-12 ~E-5mbar.L/sec, 8個(gè)量級(jí),全量程線性一致性和精確性檢測(cè)極限測(cè)試)
性能演示視頻2(吸槍法，Sniffer)；LACO Titan T100業(yè)界先進(jìn)的全量程測(cè)量的精確性與一致性
(一組標(biāo)準(zhǔn)漏孔,,E-8 ~E-5mbar.L/sec, 4個(gè)量級(jí),全量程線性一致性和精確性檢測(cè)極限測(cè)試）
2）三種測(cè)試模式：Gross(粗檢), Fine(精檢), Ultra(超精檢)
3）高入口壓力：25mbar，快速進(jìn)入檢測(cè)
4）自檢：T100內(nèi)置NIST可跟蹤證書的標(biāo)準(zhǔn)漏孔，溫度補(bǔ)償僅為0.1%/℃；支持在三種模式下（Gross, Fine, Ultra）自動(dòng)校準(zhǔn)確保每種模式下測(cè)量的準(zhǔn)確性。
5）長(zhǎng)壽命氧化釔涂層銥雙離子源燈絲：3年質(zhì)保
圖2：配套設(shè)備-T100一攬子綜合解決方案
三、應(yīng)用領(lǐng)域(Application Scenarios)
◆科學(xué)研究： Electron microscopy – 電子顯微鏡 Mass spectrometry – 質(zhì)譜 Surface analysis – 表面分析 Plasma monitoring – 等離子體監(jiān)測(cè) Residual gas analysis – 殘余氣體分析 ... ◆半導(dǎo)體 Lithography鋰電池 PVD /CVD Plasma etching等離子刻蝕 MBE 分子束外延 … ◆鍍膜 Hard disk coating – 硬盤鍍膜 Photovoltaics – 光伏 Glass coating (PVD) – 玻璃鍍膜 Optical coating (PVD) – 光學(xué)鍍膜 Wear protection (PVD, CVD) –硬質(zhì)涂層 Web coating – 卷繞鍍膜 … | ◆工業(yè) Medical technology – 醫(yī)學(xué)技術(shù) Industrial leak detection – 工業(yè)檢漏 Electron beam welding – 電子束焊接 Lamp /tube manufacturing – 燈管制造 Automobile –汽車制造 Aerospace-航天航空 … ◆科學(xué)研究 Nuclear research – 核研究 Fusion technology – 聚變技術(shù) Plasma research – 等離子研究 Nanotechnology – 納米技術(shù) Biotechnology – 生物技術(shù) … |
四、常用訂貨號(hào)
| 項(xiàng)目 | 描述 | 訂貨號(hào) |
| LACO TitanTest? T100檢漏儀 | ||
| T100 Wet便攜式檢漏儀 | T100便攜式檢漏儀，油式，45kg | TITAN100W |
| T100 Dry便攜式檢漏儀 | T100便攜式檢漏儀，無油干式，38kg | TITAN100D |
| T100M(16m3/h Wet)移動(dòng)式檢漏儀 | 主機(jī)模塊+推車+16m3/h旋片泵，油式檢漏儀 | TITAN100M-16W |
| T100M(30m3/h Wet)移動(dòng)式檢漏儀 | 主機(jī)模塊+推車+30m3/h旋片泵，油式檢漏儀 | TITAN100M-30W |
| T100M(15m3/h Dry)移動(dòng)式檢漏儀 | 主機(jī)模塊+推車+15m3/h渦旋泵，無油干式檢漏儀檢漏儀 | TITAN100M-15D |
| T100M(30m3/h Dry)移動(dòng)式檢漏儀 | 主機(jī)模塊+推車+30m3/h渦旋泵，無油干式檢漏儀檢漏儀 | TITAN100M-30D |
| 常用配件 | ||
| 有線控制模塊（4m有線） | Wired Remote Control RC 800, 13 ft (4 m) Cable Included | TR100 |
| 無線控制模塊（100m無線） | Wireless Remote Control RC 800 WL, Up to 330 ft (100 m) | TR101 |
| WIFI發(fā)射模塊 | WiFi Adapter for TitanTest? Communication Module | TCM-WIFI |
| 通信模塊 | TitanTest? Communication Module with Data Logging / Ethernet | TCM50 |
| 通信模塊（加打印） | TitanTest? Communication Module with Data Logging / Ethernet | TCM50-PT |
| 二維碼掃描槍 | Barcode Reader for TitanTest? Communication Module | TCM-BC |
| 3m吸槍 | Sniffer Probe - 10 ft (3 m) | LSP-01N-10 |
| 10m吸槍 | Sniffer Probe - 33 ft (10 m) | LSP-01N-33 |
| 3m增強(qiáng)吸槍（清零+顯示） | Enhanced Sniffer Probe - 10 ft (3 m), Pass/Fail + Zero Function, Rigid Tip | T2003 |
| 10m增強(qiáng)吸槍（清零+顯示） | Enhanced Sniffer Probe - 33 ft (10 m), Pass/Fail + Zero Function, Rigid Tip | T2010 |
| 噴槍(帶620cc氣瓶+減壓閥） | Helium Spray Probe - 10 ft (3 m) Poly tube with Regulator and 620cc Reservoir | LHSP07 |
| 入口濾芯 | Inline NW25 Filter Housing with 40 Micron Sintered Bronze Element | LVF-E-NW25-40-10 |
| 內(nèi)置校準(zhǔn)漏孔 | Internal Helium Leak Standard for TitanTest?, Low 10-7 mbarL/sec | CM102492 |
| 外置校準(zhǔn)漏孔-7 | External Helium Leak Standard, Low 10-7 mbarL/s NW25, Manual Valve | CM51L-71111V0/4 |
| 外置吸槍校準(zhǔn)漏孔-4 | Sniffer Helium Leak Standard, 5 x 10-4 mbarL/sec, Pressure Gauge, Refill Valve | CM515.0-4102DAG/4 |
