LACO TitanTest?? T100M(15m3/h Dry)移動式氦質(zhì)譜檢漏儀(干式)

發(fā)布日期：2018-01-15 00:00 來源：http://qqhfy.com 點擊：

LACO TitanTest? T100M(15m3 /h Dry)

移動式大抽速高性能氦質(zhì)譜檢漏儀（訂貨號：TITAN100M-15D）

LACO Titan T100(15m3/h Dry) 移動無油干式氦氣檢漏儀，配置15m3/h 干式渦旋泵，適合潔凈生產(chǎn)環(huán)境之嚴(yán)苛需求以及較大工件的檢測?？梢詮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、醫(yī)療、科研、實驗等需求。

通過結(jié)合較高氦氣抽氣能力和高進(jìn)氣口壓力的合理真空結(jié)構(gòu)， Titan T100(15m3/h Dry)提供的前所未有的泄漏率檢測達(dá) < 5x10-12 mbar.L/sec。

圖1：LACO Titan T100M(15m3/h Dry) 大抽速移動式氦質(zhì)譜檢漏儀

一、技術(shù)規(guī)格

項目		描述
可檢測氣體		4He, 3He, H2
最小可檢測漏率	真空法	4He： <5x10-13pa.m3/s（5x10-12mbar.L/s）
		3He： <5x10-11pa.m3/s（5x10-10mbar.L/s）
		H2： <5x10-9pa.m3/s（5x10-8mbar.L/s）
	吸槍法	4He, 3He, H2: <x10-9pa.m3/s（5x10-8mbar.L/s）
		獨立吸槍接口（不占用真空口）
檢測模式		Gross(粗檢), Fine(精檢), Ultra(超精檢)
檢測方法		真空(Vacuum)，吸槍(Sniff)，自動檢測(Auto)
入口法蘭		KF25
最大入口壓力		25mbar
分子泵抽速		2.5l/s (SplitFlow 80)
前級泵抽速		15m3/h無油干式渦旋泵
響應(yīng)時間		真空（63% signal）：0.3s
		吸槍（3m）：<1s
自檢		內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔（NIST可跟蹤證書），溫度系數(shù)0.1%/℃，可忽略溫度修正
		支持Gross, Fine, Ultra三種模式校準(zhǔn)，確保測試精度
啟動時間		≤3min
采樣頻率		20Hz
接口		RS232 or RS485, Analog Output, Discrete I/O
工作溫度		10℃ ~ 35℃
工作電壓		115/230 VAC, 50/60 Hz
重量		110kg
功耗		800W
尺寸(mm）		長726 x437 x1010推車+主機

二、特點(Key Features)

1）業(yè)界先進(jìn)的全量程測量的精確性與一致性(演示視頻)。

T100提供先進(jìn)的全量程測量的精確性與一致性。

性能演示視頻1(真空法，Vacuum)；LACO Titan T100業(yè)界先進(jìn)的全量程測量的精確性與一致性
(8個標(biāo)準(zhǔn)漏孔,,E-12 ~E-5mbar.L/sec, 8個量級,全量程線性一致性和精確性檢測極限測試)

性能演示視頻2(吸槍法，Sniffer)；LACO Titan T100業(yè)界先進(jìn)的全量程測量的精確性與一致性
(一組標(biāo)準(zhǔn)漏孔,,E-8 ~E-5mbar.L/sec, 4個量級,全量程線性一致性和精確性檢測極限測試）

2）三種測試模式：Gross(粗檢), Fine(精檢), Ultra(超精檢)

3）高入口壓力：25mbar，快速進(jìn)入檢測

4）自檢：T100內(nèi)置NIST可跟蹤證書的標(biāo)準(zhǔn)漏孔，溫度補償僅為0.1%/℃；支持在三種模式下（Gross, Fine, Ultra）自動校準(zhǔn)確保每種模式下測量的準(zhǔn)確性。

5）長壽命氧化釔涂層銥雙離子源燈絲：3年質(zhì)保

圖2：配套設(shè)備-T100一攬子綜合解決方案

三、應(yīng)用領(lǐng)域(Application Scenarios)

◆科學(xué)研究：

Electron microscopy – 電子顯微鏡

Mass spectrometry – 質(zhì)譜

Surface analysis – 表面分析

Plasma monitoring – 等離子體監(jiān)測

Residual gas analysis – 殘余氣體分析

...

◆半導(dǎo)體

Lithography鋰電池

PVD /CVD

Plasma etching等離子刻蝕

MBE 分子束外延

…

◆鍍膜

Hard disk coating – 硬盤鍍膜

Photovoltaics – 光伏

Glass coating (PVD) – 玻璃鍍膜

Optical coating (PVD) – 光學(xué)鍍膜

Wear protection (PVD, CVD) –硬質(zhì)涂層

Web coating – 卷繞鍍膜

…

◆工業(yè)

Medical technology – 醫(yī)學(xué)技術(shù)

Industrial leak detection – 工業(yè)檢漏

Electron beam welding – 電子束焊接

Lamp /tube manufacturing – 燈管制造

Automobile –汽車制造

Aerospace-航天航空

…

◆科學(xué)研究

Nuclear research – 核研究

Fusion technology – 聚變技術(shù)

Plasma research – 等離子研究

Nanotechnology – 納米技術(shù)

Biotechnology – 生物技術(shù)

…

四、常用訂貨號

項目	描述	訂貨號
LACO TitanTest? T100檢漏儀
T100 Wet便攜式檢漏儀	T100便攜式檢漏儀，油式，45kg	TITAN100W
T100 Dry便攜式檢漏儀	T100便攜式檢漏儀，無油干式，38kg	TITAN100D
T100M(16m3/h Wet)移動式檢漏儀	主機模塊+推車+16m3/h旋片泵，油式檢漏儀	TITAN100M-16W
T100M(30m3/h Wet)移動式檢漏儀	主機模塊+推車+30m3/h旋片泵，油式檢漏儀	TITAN100M-30W
T100M(15m3/h Dry)移動式檢漏儀	主機模塊+推車+15m3/h渦旋泵，無油干式檢漏儀檢漏儀	TITAN100M-15D
T100M(30m3/h Dry)移動式檢漏儀	主機模塊+推車+30m3/h渦旋泵，無油干式檢漏儀檢漏儀	TITAN100M-30D
常用配件
有線控制模塊（4m有線）	Wired Remote Control RC 800, 13 ft (4 m) Cable Included	TR100
無線控制模塊（100m無線）	Wireless Remote Control RC 800 WL, Up to 330 ft (100 m)	TR101
WIFI發(fā)射模塊	WiFi Adapter for TitanTest? Communication Module	TCM-WIFI
通信模塊	TitanTest? Communication Module with Data Logging / Ethernet	TCM50
通信模塊（加打?。?/span>	TitanTest? Communication Module with Data Logging / Ethernet	TCM50-PT
二維碼掃描槍	Barcode Reader for TitanTest? Communication Module	TCM-BC
3m吸槍	Sniffer Probe - 10 ft (3 m)	LSP-01N-10
10m吸槍	Sniffer Probe - 33 ft (10 m)	LSP-01N-33
3m增強吸槍（清零+顯示）	Enhanced Sniffer Probe - 10 ft (3 m), Pass/Fail + Zero Function, Rigid Tip	T2003
10m增強吸槍（清零+顯示）	Enhanced Sniffer Probe - 33 ft (10 m), Pass/Fail + Zero Function, Rigid Tip	T2010
噴槍(帶620cc氣瓶+減壓閥）	Helium Spray Probe - 10 ft (3 m) Poly tube with Regulator and 620cc Reservoir	LHSP07
入口濾芯	Inline NW25 Filter Housing with 40 Micron Sintered Bronze Element	LVF-E-NW25-40-10
內(nèi)置校準(zhǔn)漏孔	Internal Helium Leak Standard for TitanTest?, Low 10-7 mbarL/sec	CM102492
外置校準(zhǔn)漏孔-7	External Helium Leak Standard, Low 10^-7 mbarL/s NW25, Manual Valve	CM51L-71111V0/4
外置吸槍校準(zhǔn)漏孔-4	Sniffer Helium Leak Standard, 5 x 10^-4 mbarL/sec, Pressure Gauge, Refill Valve	CM515.0-4102DAG/4