氦質譜檢漏儀 漏孔校準示意說明  Calibrated Leak Standards for TitanTest Helium Leak Detector - LACO Technologies

此種漏孔：為了展示氦質譜檢漏儀如何使用標準漏孔進行校準，包括真空校準和吸槍校準。。同時可根據(jù)要求，定制任何全球任何品牌氦質譜檢漏儀，包括英孚康Inficon、萊寶（Leybold）、阿爾卡特（Adixen）、普發(fā)（Pfeiffer），瓦里安（Varian）、安捷倫（Agilent）、皖儀（Wayee），中科科儀（KYKY）, 島津、Veeco、Edwards……

關鍵詞：空氣 校準 標準漏孔 SF6 Ar氬氣 Xe氙氣 Kr氪氣 D2氘氣 Ne氖氣

開放式氣體標準漏孔，可同時指定壓力、漏率等：

1） 氣體類型 2）壓力 3）漏率4）接口，提供全球高等級支美國計量局可跟蹤證書。

應用場景：適用于任何全球任何品牌氦質譜檢漏儀，包括英孚康Inficon、萊寶（Leybold）、阿爾卡特（Adixen）、普發(fā)（Pfeiffer），瓦里安（Varian）、安捷倫（Agilent）、皖儀（Wayee），中科科儀（KYKY）, 島津、Veeco、Edwards……

開放式標準漏孔不帶氣室或氣體存儲裝置，需外接氣源。適用于任何全球任何品牌氦質譜檢漏儀和所有的氣體檢漏儀。

應用場景：

           1）作為標準漏，真實模擬工況；

              2）各種氣體檢測儀校準，包括氦質譜檢漏儀，氫氣檢漏儀，各種冷媒檢漏儀、SF6檢漏儀，空調檢漏儀等。

根據(jù)氣體種類的不同，支持的漏率（單位：mbarL/s）有所差別：

1.        氦氣（入真空）：E-2~E-12 mbarL/s

2.        其他所有氣體：（入真空）：>5E-9 mbarL/s

3.        所有氣體如大氣：：>5E-6 mbarL/s

睿米標準漏孔，都采用業(yè)界先進的通道技術（微通道），具有通道漏孔即時響應、溫飄?。úＡB透為2%/℃，一般通道為0.2%/℃，微通道為01.%/℃），以及玻璃滲透支持小漏率、不易堵塞之優(yōu)點；同時客服了普通通道技術只支持大漏率、易堵塞，以及玻璃滲透響應慢之缺點。

用戶可以同時指定其中一個或多個條件：

(一)             指定氣體

(二)             指定壓力

(三)             指定氣室大小，或開放式

(四)             指定接口

(五)             指定漏率或漏率區(qū)間

(六)             指定出口壓力：真空或大氣

(七)             外置、內置

為什么氦質譜檢漏儀要用外置標準漏孔校準？

氦氣標準漏孔，其中的一個重要作用是用于氦質譜檢漏儀或者檢漏系統(tǒng)的校準。

氦質譜檢漏儀為什么要做校準（包括其他氣體檢漏儀如鹵素、冷媒檢漏儀遵循同樣原理）？

可以把檢漏儀當作一把測量尺，而標準漏孔就是一把標準尺。測量尺春夏秋冬由于熱脹冷縮測量的讀數(shù)是不一樣的，這就需要標準尺去校正。同樣，檢漏儀也是如此，需要標準漏孔也校正。同時，根據(jù)測量精度不同，需要不同精度的標準漏孔校正。

現(xiàn)在很多檢漏儀配置了內置標準漏孔，一般為10-7mbarL/s量級；自檢通過（也就是利用內置漏孔做校準通過），這意味著在10-7mbarL/s的漏率附近，測出來的結果是比較準確的。

一般來說，檢漏儀在自檢通過后，并不能保證檢漏儀在其他漏率區(qū)間保證一定是準確的。如內置漏孔為E-7mbarL/s量級,可能在E-9mbarL/s量級不準確（事實上，我們發(fā)現(xiàn)有知名品牌檢漏儀自檢通過，但存在其他量級不準確甚至相差1個數(shù)量級；更有甚者，可以人為調試機器在一個數(shù)量級準確，在其他數(shù)量級不準確的情況）。

所以，對于產品測試來說，如果要嚴格的保證產品準確性，準確的方式是用接近產品合格漏率點的標準漏孔進行校準。這才是正確的方法。

對檢漏系統(tǒng)來說，標準漏產品也是如此重要。如檢漏儀連接到測試系統(tǒng)，其測漏結果是Leak（系統(tǒng)）+Leak（產品）；我們這時候要用標準漏產品去模擬合格漏率時檢漏儀測試結果；在測試正式產品時，如果漏率>標準樣品測試漏率，則產品不合格，反之則產品合格。

上述的分析是對任何氣體檢漏設備適用的，不分廠家，不分氣體種類，以及不分檢測方式。

如氦質譜檢漏儀，有兩種檢測方式：真空法，與吸槍法。標準漏孔也有兩種，真空法下的標準漏孔，連接到檢漏儀入口；另一種就是吸槍漏孔，提供吸槍接口。

對于普遍用吸槍或嗅探模式的鹵素、冷媒檢漏儀，最佳的校準方式是提供對應氣體類型的吸槍漏孔。但因為吸槍漏孔（出口為大氣）一般的高精度為5E-6mbarL/s，現(xiàn)在一些超高精度的SF6如Q200，可以達到1E-8mbarL/s，可以提供出口為真空的SF6漏孔（如1E-7 mbarL/s），把吸槍對準漏放入真空環(huán)境，可以用來校準檢漏儀。

定制標準漏孔，包括

              1）全球任何品牌氦質譜檢漏儀、氫氣檢漏儀、鹵素檢漏儀、冷媒檢漏儀、SF6檢漏儀內置、外置校準漏孔、吸槍校準漏孔

              2）不同氣體(各種惰性氣體，空氣，氧氣，氨氣，混合氣體）、冷媒等；

               2）帶氣體存儲（有源）或不帶氣體存儲（無源，需外接氣源）；

               3）根據(jù)客戶需求提供單點，多點校準

               4）覆蓋不同漏率，高精度E-12mbar.L/s(pa.m3/s)，滿足苛刻研究之需求

                5) 采用微通道技術，抗堵塞、響應快，同時支持低漏率

                6）定制各種復雜接口，閥門

                7）所有漏孔都提供美國計量局NIST可追蹤證書，全球高等級，非廠家證書級別可比

由于漏孔是高度定制產品，而且提供校準證書國家計量局規(guī)定每年都要校準，證書的有效期為壹年，因此漏孔產品需要預定，定制周期一般為28天~42天，請客戶周知。

支持氣體種類

*用戶可指定混合比例：如He:空氣=50:50，H2:N2=5:95*

*如您需要的氣體未在上述列出，請與我們聯(lián)系*

多種接口支持

*如您需要的接頭未在上述列出，請與我們聯(lián)系定制*