美國(guó)雷科(LACO)微通道型標(biāo)準(zhǔn)漏孔介紹

關(guān)鍵詞：標(biāo)準(zhǔn)漏、標(biāo)準(zhǔn)漏孔、標(biāo)準(zhǔn)泄漏孔、校準(zhǔn)漏孔、外置漏孔、內(nèi)置漏孔、冷媒漏孔、氦氣標(biāo)準(zhǔn)漏孔、氫氣標(biāo)準(zhǔn)漏孔、空氣標(biāo)準(zhǔn)漏孔、SF6標(biāo)準(zhǔn)漏孔、帶氣室標(biāo)準(zhǔn)漏孔、開(kāi)放式標(biāo)準(zhǔn)漏孔、NIST、 A2LA、通道、微通道。

上海睿米儀器儀表有限公司是專(zhuān)注氣體泄漏定量分析在行業(yè)應(yīng)用與推廣的廠(chǎng)家，我們與漏孔全世界行業(yè)領(lǐng)軍者-美國(guó)雷科公司（LACO Technology）合作，得益于LACO業(yè)界先進(jìn)的微毛細(xì)通道技術(shù)，提供業(yè)界齊全，性能先進(jìn)的氣體標(biāo)準(zhǔn)漏產(chǎn)品：

覆蓋各個(gè)漏率：E-1~E-10mbar.L/s

業(yè)界先進(jìn)：

l  可指定精確漏率（如1.30x10-9mbar.L/s，根據(jù)客戶(hù)需求可精確到百分位)

l  或同時(shí)指定壓力和漏率（如20Mpa下 1.00x10-5mbar.L/s）

l  各種氣體|各種漏率|各種接口|有源（帶氣室）|無(wú)源（開(kāi)放式）|工業(yè)集成|儀器校準(zhǔn)|漏率模擬|流量控制

l  所有標(biāo)準(zhǔn)漏產(chǎn)品出廠(chǎng)均提供全球高等級(jí)之美國(guó)計(jì)量局可跟蹤證書(shū)NIST Traceable A2LA Certificate）

業(yè)界先進(jìn)的微毛細(xì)通道技術(shù)

標(biāo)準(zhǔn)漏孔是檢驗(yàn)氦質(zhì)譜檢漏儀、氦檢系統(tǒng)準(zhǔn)確與否的唯一標(biāo)準(zhǔn)。睿米是標(biāo)準(zhǔn)漏孔業(yè)界先進(jìn)-美國(guó)雷科公司（LACO Technologies）在中國(guó)的代表處，每一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)漏孔都提供美國(guó)NIST國(guó)際證書(shū)，并符合ISO/IEC17025標(biāo)準(zhǔn),可以作為第三方校準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)源。

LACO標(biāo)準(zhǔn)漏孔采用獨(dú)特的微通道MTC（Micro-Tube Capillary）技術(shù)，是漏孔制作工藝的重大突破，對(duì)比傳統(tǒng)的石英滲透膜或特富龍滲透膜技術(shù)，以及傳統(tǒng)的玻璃拉絲，金屬壓扁等通道型技術(shù)都是質(zhì)的飛躍，克服了傳統(tǒng)通道型和滲透膜制作工藝的缺陷，同時(shí)綜合了二者的優(yōu)點(diǎn)。

LACO微通道漏孔具有以下優(yōu)點(diǎn)：

ü  全量程支持，支持E-1到E-10mbar.L/sec；玻璃拉絲或金屬壓扁等通道型工藝一般只能穩(wěn)定支持>E-6大漏率，而滲透膜一般只支持<E-7漏率

ü  真空響應(yīng)快，這是通道型漏孔優(yōu)點(diǎn)而玻璃或特富龍滲透膜工藝缺乏的.

ü  √溫度補(bǔ)償系數(shù)僅為0.1%/℃，可忽略溫度補(bǔ)償；傳統(tǒng)的玻璃滲透膜工藝溫度補(bǔ)償高達(dá)3~4%/℃，溫度變化10℃，漏率偏差高達(dá)40以上。

ü  穩(wěn)定性非常好，這是金屬壓扁或玻璃拉絲工藝通道型漏孔所缺乏的（作為標(biāo)準(zhǔn)漏孔，穩(wěn)定性不好是非常致命的，或者說(shuō)不應(yīng)該的）。

ü  抗震、抗摔。玻璃或特富龍滲透膜，以及玻璃拉絲工藝致命缺陷，很容易破碎導(dǎo)致不可用和使用壽命短。

ü  防堵塞性能良好，克服傳統(tǒng)通道工藝容易堵塞的致命弱點(diǎn)，提高了穩(wěn)定性和使用壽命

ü  大壓力支持，MTC工藝支持>40Mpa壓力漏孔制作，優(yōu)于其他工藝數(shù)倍到數(shù)十倍。意味著更小的衰減，更穩(wěn)定的漏率，數(shù)倍的使用壽命；

ü  支持同時(shí)指定壓力、指定漏率制作漏孔，如35Mpa下漏率為1x10-5mbar.L/sec，模擬實(shí)際的測(cè)試工件。

微通道MTC（Micro-Tube Capillary）技術(shù)，請(qǐng)參見(jiàn)：http://qqhfy.com/product/400.html

支持氣體種類(lèi)

*用戶(hù)可指定混合比例：如He:空氣=50:50，H2:N2=5:95*

*如您需要的氣體未在上述列出，請(qǐng)與我們聯(lián)系*

多種接口支持

*如您需要的接頭未在上述列出，請(qǐng)與我們聯(lián)系定制*

有源標(biāo)準(zhǔn)漏孔（帶氣室）和無(wú)源（開(kāi)放式open style）標(biāo)準(zhǔn)漏孔

按照是否自帶氣源，標(biāo)準(zhǔn)漏孔可以分為有源標(biāo)準(zhǔn)漏孔（自帶氣室）和無(wú)源漏孔（需要連接外部氣源）。

有源標(biāo)準(zhǔn)漏孔（帶氣室）

睿米有源標(biāo)準(zhǔn)漏孔氣室根據(jù)漏率要求，可以選用不同規(guī)格氣室如115cc，150cc，300cc，1000cc等，也可以定制其他規(guī)格的氣室。

圖：有源標(biāo)準(zhǔn)漏孔（自帶氣瓶Gas Reservior),也稱(chēng)標(biāo)準(zhǔn)氣瓶等

無(wú)源標(biāo)準(zhǔn)漏孔（外接氣源）

圖：無(wú)源標(biāo)準(zhǔn)漏孔,也稱(chēng)開(kāi)放式標(biāo)準(zhǔn)漏孔(open style)等

標(biāo)準(zhǔn)漏孔應(yīng)用場(chǎng)景：

標(biāo)準(zhǔn)漏孔的用途主要是儀器校準(zhǔn)，包括氦氣檢漏儀，氫氣檢漏儀，氫氣檢漏儀，SF6檢漏儀，冷媒檢漏儀，空氣檢漏儀，殘余氣體分析儀等。另一個(gè)重要的用途是生產(chǎn)線(xiàn)上面的檢漏系統(tǒng)校準(zhǔn)等。

氦質(zhì)譜檢漏儀內(nèi)部標(biāo)準(zhǔn)漏孔（Internal Leak）

支持但不限于的氦質(zhì)譜檢漏品牌包括：Pfeiffer/Adixen（普發(fā)）, Oerlikon-Leybold（萊寶）, Agilent/Varian（安捷倫/瓦里安）, Shimadzu（島津）, INFICON（英孚康）, ULVAC（愛(ài)發(fā)科）, KYKY（中科科儀）, Veeco/VIC, LACO（雷科）

一般以10-7mbar.l/s量程為主，可以根據(jù)客戶(hù)定制提供不同漏率漏孔。內(nèi)置漏孔采用鋼制非破碎型微毛細(xì)管技術(shù)，具有使用壽命長(zhǎng)、防摔防震等特點(diǎn)，低成本漏孔。提供美國(guó)計(jì)量局NIST證書(shū)。

檢漏儀是一把測(cè)量尺，而標(biāo)準(zhǔn)漏孔是標(biāo)準(zhǔn)尺。測(cè)量是否準(zhǔn)確，需要標(biāo)準(zhǔn)漏孔這把標(biāo)準(zhǔn)尺來(lái)度量。而NIST標(biāo)準(zhǔn)相當(dāng)于全球高等級(jí)的具有權(quán)威性的尺子，如果檢漏儀能符合要求NIST漏孔的要求，則意味著這臺(tái)檢漏儀的準(zhǔn)確性是全球高等級(jí)的。

                    INFICON  LDS3000              LACO T100                     ASM142/310/340內(nèi)置漏孔

外部標(biāo)準(zhǔn)漏孔校準(zhǔn)（External Leak）

檢漏儀的外部校準(zhǔn)是非常重要的?？紤]到各個(gè)廠(chǎng)家對(duì)自己利益的保護(hù)，目前對(duì)標(biāo)準(zhǔn)漏孔存在比較大的兩個(gè)誤區(qū)：

第一個(gè)誤區(qū)：多個(gè)檢漏儀廠(chǎng)家特別是國(guó)外廠(chǎng)家說(shuō)只能用自己的漏孔，包括外置與內(nèi)置，這是一個(gè)典型性的謬誤說(shuō)法。因?yàn)楹べ|(zhì)譜檢漏儀準(zhǔn)不準(zhǔn)，應(yīng)符合標(biāo)準(zhǔn)漏孔。而標(biāo)準(zhǔn)漏孔準(zhǔn)不準(zhǔn)，是國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的檢測(cè)機(jī)構(gòu)如NIST就是美國(guó)標(biāo)準(zhǔn)局認(rèn)定，而不是廠(chǎng)家。

第二個(gè)誤區(qū)就是檢漏儀內(nèi)置漏孔檢測(cè)通過(guò)，檢漏儀就沒(méi)有問(wèn)題。這也是一個(gè)認(rèn)識(shí)的誤區(qū)（我們?cè)谝曨l中看到一臺(tái)阿爾卡特檢漏儀自檢通過(guò)但誤差10倍的情況）。實(shí)際上每一臺(tái)檢漏儀要做到寬量程都精確是非常困難的。

氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理是對(duì)離子源電離的氦氣分子數(shù)量進(jìn)行量化，而到達(dá)質(zhì)譜室離子源的氦氣分子數(shù)量只是泄漏的分子總量的一部分，這就是分流比,。在環(huán)境參數(shù)變化時(shí)，這個(gè)分流比會(huì)有變化，檢漏儀根據(jù)內(nèi)置漏孔1個(gè)點(diǎn)做出的擬合曲線(xiàn)很難做到符合全量程：例如一臺(tái)檢漏儀的內(nèi)置漏孔是E-7mbarL/s，說(shuō)明這臺(tái)檢漏儀在接近E-7mbarL/s的漏率區(qū)間如[E-6, E-8]是可能準(zhǔn)確的，可能到E-9就很不準(zhǔn)確。

建議用2個(gè)標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行標(biāo)定。事實(shí)上，包括很多主流檢漏儀廠(chǎng)家最初都是不提供內(nèi)置漏孔自檢的，而是用戶(hù)購(gòu)置接近自己工件要求漏率的標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行標(biāo)定。如待測(cè)工件合格漏率要求為2.50x10^-8mbar.L/s, 最好是購(gòu)置一個(gè)接近該漏率的標(biāo)準(zhǔn)漏孔如3.00x10^-8 mbar.L/s，經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的檢漏儀不需要自檢通過(guò)也能準(zhǔn)確的判斷產(chǎn)品是否合格。

建議用戶(hù)在選購(gòu)?fù)庵脴?biāo)準(zhǔn)漏孔，盡量接近產(chǎn)品合格要求漏率，睿米可以提供從E-2到E-12mbarL/s的標(biāo)準(zhǔn)漏孔。用戶(hù)可選用帶氣室的標(biāo)準(zhǔn)漏孔或開(kāi)放式漏孔。

 殘余氣體分析儀校準(zhǔn)

檢漏系統(tǒng)校準(zhǔn)

這是標(biāo)準(zhǔn)漏孔應(yīng)用的一個(gè)重要方向，隨著對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量要求越來(lái)越高，很多產(chǎn)品都必須進(jìn)行檢漏測(cè)試。而待測(cè)工件的測(cè)試基于一個(gè)整體的泄漏檢測(cè)系統(tǒng)，如將一個(gè)汽車(chē)管路部件充氦放入一個(gè)大檢測(cè)腔體，再連接到檢漏儀；在這種情況下，待測(cè)工件泄漏只有其中一部分進(jìn)入檢漏儀，因此必須用標(biāo)準(zhǔn)漏孔來(lái)對(duì)比檢測(cè)工件是否合格。

檢漏儀吸槍校準(zhǔn)：包括氦質(zhì)譜檢漏儀、冷媒檢漏儀等 

吸槍法（嗅探法）校準(zhǔn)是非常重要的。在氦質(zhì)譜檢漏儀吸槍法校準(zhǔn)中，用空氣做校準(zhǔn)是不行的，即使空氣中氦氣含量為5ppm（5x10^-6）左右，顯示漏率還取決于吸槍泵速。如吸槍泵速為1cm³/s，空氣壓力為1000mbar，我們轉(zhuǎn)化為氦氣漏率為mbarL/s=（10-3L*1000x5x10^-6）=5E-6mbar.L/s。如果吸槍泵速變?yōu)?/span>2cm³/s時(shí)，漏率應(yīng)該為2*5E-6mbar.L/s= 1E-5mbar.L/s.

因此必須用外置標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)吸槍進(jìn)行校準(zhǔn)。

LACO（雷科）吸槍標(biāo)準(zhǔn)漏孔氦質(zhì)譜檢漏儀支持所有的氦質(zhì)譜檢漏儀，支持但不限于的氦質(zhì)譜檢漏品牌包括：Pfeiffer/Adixen（普發(fā)）, Oerlikon-Leybold（萊寶）, Agilent/Varian（安捷倫/瓦里安）, Shimadzu（島津）, INFICON（英孚康）, ULVAC（愛(ài)發(fā)科）, KYKY（中科科儀）, Veeco/VIC, LACO（雷科）。

冷媒鹵素標(biāo)準(zhǔn)漏孔一般在E-4或E-5mbarL/s.對(duì)高精度鹵素檢漏儀如Q200，用戶(hù)可以定制地漏率漏孔，如10^-7mbarL/s SF6或氟利昂漏孔。

雙氣室標(biāo)準(zhǔn)漏孔用于冷媒/鹵素檢漏儀吸槍校準(zhǔn)，如SF6，氟利昂等。其中主氣室以液態(tài)存儲(chǔ)，通過(guò)增、減壓閥調(diào)節(jié)壓力。用戶(hù)可指定多個(gè)漏率點(diǎn)。 

氣密性（空氣）檢漏儀校準(zhǔn)

流量控制