Calibrated Leak Standards with Positive-Shut Off Zero-Volume Pneumatic Valve
實(shí)物照片：標(biāo)準(zhǔn)漏孔，帶RMI-PSOZV?主動(dòng)關(guān)閉零體積氣動(dòng)閥，氣體組份：Kr-84(>56atom%) :Xe-132(94atom%) :Ar-40:N2-28: He-4=1:1:1:1:1
RMI-PSOZV?主動(dòng)關(guān)閉零體積氣動(dòng)閥
閥體死體積<0.1μL/系統(tǒng)零沖擊|極低氣體損耗&衰減 | 適合大漏率、超高真空、半導(dǎo)體、四極質(zhì)譜、昂貴氣體等場(chǎng)景
支持所有氣體/混氣：10-1 ~10-6mbar.L/s漏率定制，He, H2, D2, HD, N2, O2, Ar, Kr, Xe, Ne, CO2, CO, CH4...
RMI-PSOZV?主動(dòng)關(guān)閉零體積氣動(dòng)閥以及RMI-PSOZV?標(biāo)準(zhǔn)漏孔工作原理
睿米?自研RMI-PSOZV?主動(dòng)關(guān)閉零體積氣動(dòng)閥，結(jié)合RMI-Metal?金屬密封和RMI-MTC?微通道毛細(xì)管工藝，不使用時(shí)強(qiáng)制關(guān)閉閥門，標(biāo)準(zhǔn)漏孔的死體積(Dead Volume)<0.1μL（僅0.000098cm3），業(yè)界首創(chuàng)，處于國(guó)際領(lǐng)先水平。
1.高真空或超高真空系統(tǒng)零沖擊RMI-PSOZV?閥的死體積（Dead Volume）僅為0.000098cc，僅為同類閥門死體積（~0.1~1cc）的1‰或更小，閥門打開時(shí)不會(huì)沖擊高真空或超高真空系統(tǒng)。
*死體積是指閥門關(guān)閉時(shí)漏孔與閥門關(guān)閉處的死空間，閥門關(guān)閉時(shí)漏孔繼續(xù)泄漏到死空間累積直至壓力平衡。所以常規(guī)閥門的標(biāo)準(zhǔn)漏孔會(huì)在關(guān)閉閥門一段時(shí)間后打開，死空間累積的氣體會(huì)瞬間釋放，沖擊真空系統(tǒng)。死體積越大每次開關(guān)閥門氣體損耗和漏孔衰減也越大。*
舉例說明：假定氣室體積1000cc，壓力為2Mpa：
常規(guī)閥門漏孔：死體積1cc，閥門關(guān)閉平衡后死空間累積氣體=1x20=20cc，打開閥門瞬間沖擊足以使高真空系統(tǒng)破壞、污染、或重啟，需要長(zhǎng)時(shí)間恢復(fù)；
RMI-PSOZV?漏孔：死體積0.000098cc，閥門關(guān)閉平衡后死空間累積氣體=20x0.000098=0.0196cc，不會(huì)對(duì)系統(tǒng)造成沖擊。
3.極低衰減|漏率穩(wěn)定|多年免補(bǔ)氣|免維護(hù)RMI-PSOZV?漏孔不使用時(shí)閥門強(qiáng)制關(guān)閉、及接近于0的死體積設(shè)計(jì)（0.000098cc）的設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)氣體的最小損耗。
RMI-MTCTM微通道毛細(xì)管以及RMI-Metal?金屬密封工藝，區(qū)別于其他廠家如VTI 的PSO標(biāo)準(zhǔn)漏孔采用的為減少死體積采用的金屬壓扁（容易蠕變?cè)斐陕┞什粶?zhǔn)或堵塞）和PTFE密封（自身滲透漏率很大），可以做到漏率精確且穩(wěn)定，多年無(wú)需補(bǔ)氣、免維護(hù)。
4. 適合大漏率、高真空/超高真空、四級(jí)桿質(zhì)譜等場(chǎng)景，特別是需要使用昂貴氣體、保證氣體純度的場(chǎng)景（如Xe，Kr等同位素氣體）
5. 支持He, H2, D2, HD, N2, O2, Ar, Kr, Xe, Ne, CO2, CO, CH4, C2H6，…，等所有氣體，或混合氣(如Xe-132:Kr-84:N2:Ar:He=1:1:1:1:1:1, 客戶指定比例或提供的氣體)
