RMI-PSOZV?主動關(guān)閉零體積氣動閥標準漏孔 Calibrated Leak Standards with Positive-Shut Off Zero-Volume Pneumatic Valve
實物照片：標準漏孔，帶RMI-PSOZV?主動關(guān)閉零體積氣動閥，氣體組份：Kr-84(>56atom%) :Xe-132(94atom%) :Ar-40:N2-28: He-4=1:1:1:1:1
RMI-PSOZV?主動關(guān)閉零體積氣動閥
閥體死體積<0.1μL/系統(tǒng)零沖擊|極低氣體損耗&衰減 | 適合大漏率、超高真空、半導體、四極質(zhì)譜、昂貴氣體等場景
支持所有氣體/混氣：10-1 ~10-6mbar.L/s漏率定制，He, H2, D2, HD, N2, O2, Ar, Kr, Xe, Ne, CO2, CO, CH4...
RMI-PSOZV?主動關(guān)閉零體積氣動閥以及RMI-PSOZV?標準漏孔工作原理
睿米?自研RMI-PSOZV?主動關(guān)閉零體積氣動閥，結(jié)合RMI-Metal?金屬密封和RMI-MTC?微通道毛細管工藝，不使用時強制關(guān)閉閥門，標準漏孔的死體積(Dead Volume)<0.1μL（僅0.000098cm3），業(yè)界首創(chuàng)，處于國際領(lǐng)先水平。
1.高真空或超高真空系統(tǒng)零沖擊RMI-PSOZV?閥的死體積（Dead Volume）僅為0.000098cc，僅為同類閥門死體積（~0.1~1cc）的1‰或更小，閥門打開時不會沖擊高真空或超高真空系統(tǒng)。
*死體積是指閥門關(guān)閉時漏孔與閥門關(guān)閉處的死空間，閥門關(guān)閉時漏孔繼續(xù)泄漏到死空間累積直至壓力平衡。所以常規(guī)閥門的標準漏孔會在關(guān)閉閥門一段時間后打開，死空間累積的氣體會瞬間釋放，沖擊真空系統(tǒng)。死體積越大每次開關(guān)閥門氣體損耗和漏孔衰減也越大。*
舉例說明：假定氣室體積1000cc，壓力為2Mpa：
常規(guī)閥門漏孔：死體積1cc，閥門關(guān)閉平衡后死空間累積氣體=1x20=20cc，打開閥門瞬間沖擊足以使高真空系統(tǒng)破壞、污染、或重啟，需要長時間恢復(fù)；
RMI-PSOZV?漏孔：死體積0.000098cc，閥門關(guān)閉平衡后死空間累積氣體=20x0.000098=0.0196cc，不會對系統(tǒng)造成沖擊。
3.極低衰減|漏率穩(wěn)定|多年免補氣|免維護RMI-PSOZV?漏孔不使用時閥門強制關(guān)閉、及接近于0的死體積設(shè)計（0.000098cc）的設(shè)計，實現(xiàn)氣體的最小損耗。
RMI-MTCTM微通道毛細管以及RMI-Metal?金屬密封工藝，區(qū)別于其他廠家如VTI 的PSO標準漏孔采用的為減少死體積采用的金屬壓扁（容易蠕變造成漏率不準或堵塞）和PTFE密封（自身滲透漏率很大），可以做到漏率精確且穩(wěn)定，多年無需補氣、免維護。
4. 適合大漏率、高真空/超高真空、四級桿質(zhì)譜等場景，特別是需要使用昂貴氣體、保證氣體純度的場景（如Xe，Kr等同位素氣體）
5. 支持He, H2, D2, HD, N2, O2, Ar, Kr, Xe, Ne, CO2, CO, CH4, C2H6，…，等所有氣體，或混合氣(如Xe-132:Kr-84:N2:Ar:He=1:1:1:1:1:1, 客戶指定比例或提供的氣體)
