上海睿米儀器儀表有限公司
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外置氦氣標(biāo)準(zhǔn)漏孔E-3~E-12mbar.L/sec
（External Calibrated Leak Standards），
-校準(zhǔn)氦質(zhì)譜檢漏儀的標(biāo)準(zhǔn)尺
雷科(LACO)標(biāo)準(zhǔn)漏孔介紹
1. 檢漏儀是對(duì)比性測(cè)試儀器，判斷其測(cè)量是否準(zhǔn)確的標(biāo)準(zhǔn)尺就是標(biāo)準(zhǔn)漏孔。LACO標(biāo)準(zhǔn)漏孔均提供全球高等級(jí)之符合ISO17025美國(guó)計(jì)量局NIST A2LA檢測(cè)證書，用于標(biāo)定任何品牌的任何氦質(zhì)譜檢漏儀：LACO Titan, Inficon, Leybold, Pfeiffer Adixen, Varian, 中科科儀，皖儀…而且還可直接作為第三方標(biāo)定和檢測(cè)之依據(jù)。
圖：一組雷科(LACO）標(biāo)準(zhǔn)漏孔
2. LACO是全球氣體標(biāo)準(zhǔn)誤產(chǎn)品的行業(yè)先進(jìn)，其獨(dú)家專有的通道型漏孔制作技術(shù)-微通道（Micro-Tube Capillary）業(yè)界先進(jìn)，支持多種氣體：
a) 一根毛細(xì)管，選取不同孔徑和長(zhǎng)度制作漏孔，抗震、抗摔、抗堵塞；傳統(tǒng)滲透膜和玻璃拉絲、金屬壓扁工藝都非常脆弱，極容易損壞，壽命短。
b) 獨(dú)家支持>400bar壓力，為其他漏孔制作工藝的數(shù)十倍，年損耗僅為其他工藝的數(shù)十分之一。1E-5mbar.L/sec漏孔（300cc）年損耗僅1.0%，1E-4mbar.L/sec漏孔（1000cc）年損耗僅為3%。
c) 溫度系數(shù)0.1%/℃，漏率基本不受環(huán)境溫度變化影響，可忽略溫度修正；傳統(tǒng)玻璃滲透膜3~4%/℃，溫度對(duì)漏率影響非常大，并且需要數(shù)小時(shí)穩(wěn)定時(shí)間。
d) 支持各種氣體各種接口各種漏率定制，支持同時(shí)指定漏率和壓力定制；
3. 業(yè)界先進(jìn)的全量程（E-2到E-12）一致性和準(zhǔn)確，
演示視頻：一組雷科(LACO）標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)檢漏儀標(biāo)定
u 技術(shù)指標(biāo)
1 | 漏率 (Leak Rate) | E-2~E-12mbar.L/sec 對(duì)每一個(gè)漏率量級(jí)： X:(1.0~9.9)任意值 L: 低位漏率，(1.0~3.9)任意值 M: 中位(4.0~6.9)任意值 或特定數(shù)值，如3.50 如客戶指定數(shù)值，一般按照指定值±10%制作，如4.0E-8mbar.L/sec, 最終值落在3.6 到4.4 E-8mbar.L/sec的某一點(diǎn)。 客戶也可以定制縮小漏率區(qū)間，如必須落在3.9 到4.1 E-8mbar.L/sec的某一點(diǎn). 要求漏率越接近指定值，成本越高。 |
2 | 漏孔制作技術(shù) (Leak Element) | 微通道技術(shù)（Micro-Tube Capillary） LACO微通道技術(shù)接近理想小孔，根據(jù)用戶漏率需求選取不同孔徑和長(zhǎng)度制作漏孔，抗震、抗摔、抗堵塞，同時(shí)支持高壓至450bar。 |
3 | 氣體(Gas) | Helium (100%) |
4 | 校準(zhǔn)點(diǎn)個(gè)數(shù) (# of Cal Pts) | 1或n個(gè) *≤1E-6 mbar.L/sec的漏孔建議只有1個(gè)較準(zhǔn)點(diǎn) *校準(zhǔn)點(diǎn)個(gè)數(shù)不受限制，建議跨不超過3個(gè)量級(jí)， 如E-4~E-6或E-3~E-5。 |
5 | 氣瓶規(guī)格 （Reservoir Style） | 115cc:：~400PSI, 最佳適用：≤1E-6mbar.L/sec 150cc： ~1800PSI, 最佳適用：≤1E-5 mbar.L/sec 300cc： ~1800PSI, 最佳適用：≤5E-5 mbar.L/sec 1000cc： ~1800PSI, 最佳適用：>5E-5 mbar.L/sec |
6 | 預(yù)計(jì)年衰減 (Est. Depl. Rate) | 閥門常開狀態(tài)下，典型值(漏率單位：mbar.L/sec)： 漏孔1(≤1.0E-7，115cc)： ≤0.1%/年 漏孔2(1.0E-6，115cc)： ~1.0%/年 漏孔3(5.0E-6，150cc)： ~1.0%/年 漏孔4(5.0E-6，150cc)： ~1.0%/年 漏孔5(1.0E-5，150cc)： ~2.0%/年 漏孔6(1.0E-5，300cc)： ~1.0%/年 漏孔7(5.0E-5，300cc)： ~5.0%/年 漏孔8(5.0E-5，1000cc)： ~1.6%/年 漏孔9(1.0E-4，1000cc)： ~3.0%/年 漏孔10(5.0E-4，1000cc)： ~14%/年 漏孔11(1.0E-3，1000cc)： ~27%/年 注：上述年衰減是基于閥門常開，對(duì)于大漏率帶閥門的漏孔，閥門關(guān)閉，衰減率實(shí)際會(huì)少很多。 對(duì)于年衰減~1~2%的漏孔，無需補(bǔ)氣. <1E-6mbar.L/sec漏孔，115cc氣瓶可以做到年損耗<1%,無需補(bǔ)氣； 其他規(guī)格氣瓶都支持可重新補(bǔ)氣 |
7 | 溫度補(bǔ)償 (Temp. coef.) | 0.1%/℃，無需根據(jù)溫度對(duì)漏率進(jìn)行修正。 其他如玻璃石英滲透膜漏孔為3%/℃，需根據(jù)溫度進(jìn)行漏率修正。 |
8 | 閥門 (Isolation Valve) | 無閥門，普通閥門，零流量閥門，氣動(dòng)閥門、電磁閥可選 零流量閥：一般閥門關(guān)閉，漏孔與閥門之間存在微小間隙，氦氣會(huì)在間隙累積，打開閥門后，氣體會(huì)瞬間釋放。零流量閥門與漏孔間隙體積接近為0,關(guān)閉后氣瓶氣體基本不泄漏，適合高真空系統(tǒng)以及大漏率漏孔等。 |
9 | 接口 (Outlet Connection) | KF16/KF25/K40/KF50等可選 |
10 | 出口 (Outlet Pressure) | 真空或大氣（正壓法校準(zhǔn)） *LACO漏孔為高壓漏孔（小漏率E-7漏孔壓力亦可>300PSI），泄漏到真空和到大氣的漏率相差一般<1%, 真空校準(zhǔn)漏孔亦做正壓校準(zhǔn)漏孔用。 |
11 | 壓力表（gauge） | 一般用于多點(diǎn)校準(zhǔn)漏孔，對(duì)應(yīng)查找壓力-漏率對(duì)應(yīng)表 |
12 | 其他 | 所有漏孔出廠都帶NIST證書 |
u 常用訂貨號(hào)
漏率量級(jí) | 訂貨號(hào) | 描述 |
E-4 | CM511.0-41161V0/4 | 漏率：1.0E-4; KF25,手動(dòng)閥,1000cc，年漏約3.1% |
E-5 | CM51L-51121V0/4 | 漏率：1.0~3,9E-5, KF25,手動(dòng)閥,300cc, 年漏約2% |
E-6 | CM51M-61141V0/4 | 漏率：4.0~6.9E-6, KF25,手動(dòng)閥,150cc, 年漏約1.6% |
E-7 | CM51X-71111V0/4 | 漏率：E-7級(jí), KF25,手動(dòng)閥,115cc, 年漏約0.5% |
E-8 | CM51X-81111V0/4 | 漏率：E-8級(jí), KF25,手動(dòng)閥,115cc, 年漏約0.1% |
E-9 | CM51L-91111V0/4 | 漏率：1.0~3.9E-9,KF25,手動(dòng)閥,115cc, 年漏<0.1% |
E-10 | CM31L-101111V0/4 | 漏率：1.0~3.9E-10, KF25,手動(dòng)閥,115cc, 年漏<0.1% |
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u 為什么檢漏儀要用外置標(biāo)準(zhǔn)漏孔標(biāo)定
? 輸入錯(cuò)誤的內(nèi)置漏孔漏率值，檢漏儀自檢時(shí)一般也能通過；說明檢漏儀是對(duì)比性測(cè)試設(shè)備，檢漏儀本身并不知道檢漏信號(hào)對(duì)應(yīng)的漏率是多少，必須要有參照物-標(biāo)注漏孔來確定。
? 任何氦質(zhì)譜檢漏儀準(zhǔn)不準(zhǔn)，標(biāo)準(zhǔn)是對(duì)標(biāo)準(zhǔn)漏孔讀值準(zhǔn)不準(zhǔn)，無其他標(biāo)準(zhǔn)。
? 任何檢漏儀不承諾保證E~2到E-12的全量程一致性和精確性。檢漏儀內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔一般為E-7mbar.L/sec，自檢通過，如內(nèi)置漏孔為5.0E-7mbar.L/sec,并不能保證E-6或E-8或其他量級(jí)測(cè)量的準(zhǔn)確性。
? 甚至E-7內(nèi)置漏孔準(zhǔn)確，并不能保證該檢漏儀測(cè)量E-7量級(jí)就是準(zhǔn)確的，因?yàn)閮?nèi)置漏孔連接檢漏儀閥體的接口與檢漏儀的撿漏口不是同一接口。一個(gè)1.5E-7的內(nèi)置漏孔，如連接檢漏儀閥體的接口存在5E-7的泄漏，自檢時(shí)輸入的漏率因?yàn)?/span>7.5E-7，但檢漏儀仍然認(rèn)為是1.5E-7；這就導(dǎo)致檢漏儀自檢通過但整個(gè)線性出現(xiàn)偏差和混亂。
? 事實(shí)上，經(jīng)常出現(xiàn)檢漏儀自檢通過其他量程誤差很大，甚至幾個(gè)量級(jí)的都有。我們甚至發(fā)現(xiàn)有檢漏儀，某幾個(gè)量級(jí)準(zhǔn)確了，另幾個(gè)量級(jí)不準(zhǔn)的情況，反之亦然。有興趣的可以觀看我們的視頻。
? 正確的方法是針對(duì)產(chǎn)品的漏率要求，用接近的外置校準(zhǔn)漏孔標(biāo)定檢漏儀。
睿米提供全球高等級(jí)之氣體標(biāo)準(zhǔn)誤產(chǎn)品及標(biāo)準(zhǔn)漏孔(可跟蹤NIST A2LA證書)，包括氦氣標(biāo)定漏孔(校準(zhǔn)漏孔、標(biāo)準(zhǔn)漏孔)和其他氣體標(biāo)準(zhǔn)誤產(chǎn)品。我們的產(chǎn)品覆蓋：
1) 氣體:包括He，Air，Ar， N2，CO2，N2O，He3，R-12，R-22，H2，D2，SF6，Ne，Xe，R-134a， CH4， Kr，R-404a，R-290，C0，R-407c，R-410， NH3，Halon 1301…
2) 漏率，從E-0mbar.l/s ~ E-12 mbar.l/s，
3) 壓力：-100Kpa ~ >40MPa
4) 接口：提供各種接口定制
5) 定制漏孔零活,可指定漏率或壓力,或同時(shí)指定漏率和指定壓力
6) 不同場(chǎng)合：全球各大廠家之氦質(zhì)譜檢漏儀、冷媒檢漏儀標(biāo)定漏孔(外置、內(nèi)置、吸槍)；提供開放式標(biāo)準(zhǔn)誤產(chǎn)品（連接在線氣瓶）以及根據(jù)客戶要求提供定制產(chǎn)品（用于工業(yè)、實(shí)驗(yàn)室、研究院所產(chǎn)品集成）
相關(guān)參考資料：
1. LACO外置氦氣標(biāo)準(zhǔn)漏孔（全系列）介紹
2. LACO標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書樣張（全球高等級(jí)之符合ISO17025標(biāo)準(zhǔn)的美國(guó)計(jì)量局NIST AL2LA證書）
3. 為什么檢漏儀要用外置標(biāo)準(zhǔn)漏孔標(biāo)定
5. 
LACO標(biāo)準(zhǔn)漏孔介紹-上海睿米20180130.pdf
演示視頻：
1 | 標(biāo)準(zhǔn)漏孔系列演示視頻：E-5~E-12mbar.L/sec, 8個(gè)不同漏率量級(jí) | 視頻播放： http://v.youku.com/v_show/id_XMzE1Njg5Njg3Ng==.html?firsttime=48 | 網(wǎng)盤下載： |
2 | 正壓（吸槍模式，Sniffer模式）標(biāo)準(zhǔn)漏孔演示視頻：E-5~E-8mbar.L/sec, 4個(gè)不同漏率量級(jí) | 視頻播放：http://v.youku.com/v_show/id_XMzI4MzA2MjMzNg==.html?firsttime=8 | 網(wǎng)盤下載： https://pan.baidu.com/s/1slJWNBR |
